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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，對薄膜材料的精確控制和測量要求也越來越高。X-ray膜厚儀作為一種先進(jìn)的非接觸式測量工具，在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用，尤其在薄膜厚度的精準(zhǔn)測量方面，發(fā)揮著不可替代的作用。一、X-ray膜厚儀原理X-ray膜厚儀基于X射線的衍射原理，通過測量X射線與薄膜表面或薄膜與基底之間相互作用的變化來計算膜層的厚度。X射線照射到薄膜表面時，會發(fā)生散射和吸收。根據(jù)不同材料的性質(zhì)，X射線的衍射...